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AXYZR40/60
产品分类: 组合式位移台
AXYZR60-AI
荷重:2kgf
平行度:160um
XY轴
行程:±6.5mm
最小刻度:10μm
移动精度:3μm
Z轴 行程:±3.2mm
最小刻度:10μm
移動精度:5μm
R轴 行程:360°
最小刻度:10μm
偏心量:50um
荷重:2kgf
平行度:160um
XY轴
行程:±6.5mm
最小刻度:10μm
移动精度:3μm
Z轴 行程:±3.2mm
最小刻度:10μm
移動精度:5μm
R轴 行程:360°
最小刻度:10μm
偏心量:50um
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